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该仪器为直角坐标测量法，触针接触式。X轴采用高精密的摩擦导轨为基准，Z1轴采用数字传感器，测绘出被测零件的表面轮廓形状的坐标点，通过计算机的软件对传感器采集的原始数据进行数学运算处理，标注所需的测量项目。
测量功能Main Function：
尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角：包含水平角、垂直角、夹角
位置公差：包含平行度、垂直度
形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆
Dimension：Contains the horizontal
distance, vertical distance, linear distance, radius and diameter
Angle:
Horizontal Angle, vertical angle, cross angle
Position
tolerance: contains the parallelism and perpendicularity
Form
tolerance: contains the straightness, crown, circular arc profile
Auxiliary generation: contains the auxiliary point, auxiliary line, auxiliary circle
技术参数Main Parameters：
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项目 Item |
参数 Parameter |
分辨率 |
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轮廓测量范围 Measurement range 测量精度 Measurement
Accuracy |
X轴axis |
200mm |
0.1μm |
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直线度Straightness |
1.5μm /200mm |
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Z1（传感器量程）Sensor |
40mm |
0.1μm |
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Z高度Height |
650mm |
立柱 |
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最小内孔Min. inner
hole |
30mm (换小测针可测更小内径) |
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线性精度 |
≤±（1+I0.12HI）μm |
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圆弧 |
≤（1.5+R/8） |
2mm＜R＜10mm 的标准球，取样圆弧夹角为 120° |
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角度 |
≤±2′ |
60°、90°的角度块，角 边取样长度为 5mm |
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分辨率Resolution |
0.1μm |
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产地Origin |
美国MicroE （America） |
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传感器 Sensor |
类型
Type |
光栅传感器 Digital
grating sensor |
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分辨率Resolution |
0.1μm |
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产地Origin |
美国MicroE （America） |
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爬坡角度Climbing
Ability |
上升77°（Upside）， 下降88°（Downside） |
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测量速度Meas.
Speed |
0.02mm至4.0mm/s |
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测量方式Meas. Mode |
传感器移动Sensor
moving |
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电源Power |
AC 220V±10% 50Hz |
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环境要求Environmental
conditions |
相对湿度(RH)：＜85% |
以上参数均在 20℃± 2℃，阶梯温度不超过2℃/h 和地面振动最大 RMS＜50Hz 2.5μm/s 且RMS＞50Hz
5.0μm/s 的环境下 测得 |
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